AIR AUTO VALVE-臭氧用
使用於半導體與 LCD、化學設備上的藥液(包含純水)流動的(ON/OFF)Air Auto Valve
產品特色
- 可控制 Chemicals、D.I Water、超純水與藥液等製程流體。
- 氣動式 ON/OFF 控制,適合自動化設備與製程管路使用。
- 具備耐化學性與高潔淨應用特性,符合精密製程需求。
- 提供 15A~50A 多種尺寸,可依管路配置與流量需求選用。
- 支援 NC 常閉、NO 常開、Double Action 雙動作控制方式。
- 可搭配 Indicator、Flow Control、By-Pass 等選配功能。