AIR AUTO VALVE-SENSOR TYPE
用於半導體及 LCD 設備上,控制 D.I Water 流動的(ON, OFF)Air Auto Valve。
產品特色
- 適用於半導體與 LCD 設備之 D.I Water 純水流體控制。
- 氣動式 ON/OFF 控制設計,可對應自動化管路開關需求。
- 搭配 Sensor 感測應用,可協助確認閥件作動狀態。
- 可使用於超純水相關製程環境。
- 提供 15A、20A、25A、32A、40A、50A 多種尺寸選擇。
- 可依現場需求提供特殊規格對應。
- 主要材質包含 PVC/HT-PVC、PPS、PTFE 等。
- HT-PVC 材質適用尺寸為 15A~25A。