NEEDLE VALVE
用於半導體及 LCD 設備的藥液(包括純水)流動之微細調節與控制,不受溫度上升影響,與原有 Needle Valve 相比,具備可依各階段調整排出量之更優異性能的(ON, OFF)Special Needle Valve。
產品特色
- 適用於半導體、LCD、光電與高潔淨製程設備。
- 可用於 Chemicals、D.I Water 等流體之微細流量控制。
- Special Type 設計,可降低溫度上升對流量變化的影響。
- 可階段式調整流量,方便現場依製程條件微調。
- 具備良好耐化學性,適合藥液與純水管路使用。
- Connection 採 INNODIS Tube 擴管型式,方便搭配相關管路系統。
- 可依需求進行客製化生產。
- 可選擇不同 O-ring 材質,包括 EPDM、FKM、FFKM。