捷盈精密有限公司 自動化設備與精密製造服務

PTFE VALVE

SLURRY VALVE

控制用於半導體和 LCD 設備上的藥液(包括純水)流動,最小化泥漿凝聚的(ON, OFF)Slurry Valve。

產品特色

  • 可控制 Chemicals、D.I Water 與 Slurry 等製程流體之 ON/OFF 動作。
  • 具備優異耐化學性,適合化學藥液與腐蝕性流體管路。
  • 針對 Slurry 流體特性設計,有助於降低沉積與流體殘留問題。
  • 提供 1/4 inch~1 inch 多種尺寸,可依設備管路需求選用。
  • 採用 INNODIS Tube 擴管型連接方式,方便搭配相關管路系統。
  • 支援客製化訂製,可依現場需求進行規格選配。
  • 可選擇 NC 常閉、NO 常開或 Double Action 雙動作控制形式。
  • 可搭配 Indicator、Flow Control 等選配功能。