MANIFOLD VALVE
控制使用於半導體與 LCD 設備上的藥液(包含純水)流動,適合於狹小空間內安裝多個閥門的(ON/OFF)Manifold Valve。
產品特色
- 適用於半導體、LCD、光電與高潔淨製程設備。
- 可整合多組 Valve,節省設備內部安裝空間。
- 支援 ON/OFF 流體控制,適合 Chemicals 與 D.I Water 使用。
- 提供 Body 一體型與 Body 分離型,可依管路設計選擇。
- Connection 採 INNODIS Tube 擴管型式,提升系統相容性。
- Air Operate Port 方向可與流體 Outlet 方向一致,便於設備配置。
- 支援客製生產,可依製程條件與設備需求討論規格。
- 使用溫度範圍:周圍溫度 0~60°C,流體溫度 5~60°C。