HIGH PRESSURE 3WAY VALVE
使用於半導體與 LCD、化學設備上的藥液(包含純水)流動的(ON/OFF)3WAY VALVE
產品特色
- 適用於半導體、LCD、光電與高潔淨製程設備。
- 可控制 Chemicals、D.I Water 等製程流體之 ON/OFF 流動。
- 3Way 三通流路設計,可對應不同管路切換需求。
- 高壓型結構設計,適合較高壓力條件之流體控制系統。
- 具備優異耐化學性,適合化學藥液與腐蝕性流體環境。
- 支援 1/4 inch~1 inch 多種尺寸,可依設備管路配置選用。
- 可選 NC 常閉、NO 常開或 Double Action 雙動作控制方式。
- 可搭配 Indicator、Flow Control 等選配功能,提升設備端控制彈性。