3WAY VALVE
使用於半導體與 LCD、化學設備上的藥液(包含純水)流動的(ON/OFF)3WAY VALVE
產品特色
- 可控制 Chemicals、D.I Water 等流體之 ON/OFF 流向切換。
- 三通式流體控制設計,適合分流、切換與製程管路控制。
- 具備優異耐化學性,適合化學藥液與腐蝕性流體環境。
- 支援 1/4 inch~1 inch 多種尺寸規格。
- 可提供 S-Type、L-Type 不同流路型式。
- Connection 採 INNODIS Tube 擴管型連接,方便搭配高潔淨管路系統。
- 可依需求選擇 NC 常閉、NO 常開或 Double Action 雙動作形式。
- 可搭配 Indicator、Flow Control 等選配功能,提升設備控制彈性。